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閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制

簡要描述：

閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制LH-CRPS-10K是一種低成本無需消耗制冷劑，依靠制冷機提供冷源的閉循環(huán)低溫探針臺。此款低溫探針臺設(shè)計的初衷就是操作便利性和可靠的專業(yè)測量能力，為制冷劑獲得比較困難的客戶提供了一個可行的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機降溫，降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備，只需要很少的電能即可，也不需要科研人員值守操作。

型號：LH-CRPS-10K

瀏覽量：53

更新時間：2024-12-31

價格：30000

詳細(xì)介紹

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閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制LH-CRPS-10K是一種低成本無需消耗制冷劑，依靠制冷機提供冷源的閉循環(huán)低溫探針臺。此款低溫探針臺設(shè)計的初衷就是操作便利性和可靠的專業(yè)測量能力，為制冷劑獲得比較困難的客戶提供了一個可行的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機降溫，降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備，只需要很少的電能即可，也不需要科研人員值守操作。

豐富的選件和配置確?？蒲腥藛T能夠?qū)嵤﹪?yán)苛的、富有挑戰(zhàn)的測試測量。LH-CRPS-10K是德世閉循環(huán)探針臺家族中價格蕞低的一款探針臺，蕞低溫度低于10K，它的多功能性和可靠低溫性能，成為了世界各地科研工作者的首先。多個溫度傳感器分布于探針臺各個位置，確保溫度監(jiān)視和測量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。由于是二級制冷平臺制冷機提供冷源，這樣能保證樣品溫度維持在相對較高的溫度，同時樣品處于真空環(huán)境中，減少了凝結(jié)的可能性，在一些有機材料的嚴(yán)格測試要求中這一點比較重要。

LH-CRPS-10K可以實現(xiàn)I-V、C-V等測試，最大可安裝樣品臺直徑51mm(2in)，出廠時標(biāo)準(zhǔn)配置三同軸樣品臺，標(biāo)準(zhǔn)溫度范圍10K-350K，選件可實現(xiàn)溫度范圍20K-675K。

閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制

閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制

特點:

無需消耗制冷劑

全程無值守降溫

豐富的選件和配件

遠(yuǎn)程軟件控溫

德世蕞低成本的閉循環(huán)制冷機探針臺

閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制

1.兩級制冷平臺制冷機提供冷源，一級制冷平臺冷卻輻射屏，二級制冷平臺冷卻樣品臺

2.防輻射屏包圍著樣品臺，頂端帶有可視窗口，安裝紅外吸收石英窗片

3.兩級制冷平臺制冷機，在10K時有3.5w的制冷量

溫度屬性
蕞低溫度	控溫范圍	配置
8K	8.5K-350K	2個探針臂
9K	9.5K-350K	4個探針臂
10K	10.5K-350K	6個探針臂
20K	20K-675K	高溫樣品臺

控溫穩(wěn)定性
溫度范圍	穩(wěn)定性
蕞低溫不控溫
<10K	±50mK
11K-100K	±10mK
101K-250K	±10mK
351K-675K	±50mK

真空性能
室溫	<5X10^-3Pa
蕞低溫	<5X10^-4Pa
最高溫	<5X10^-³Pa
注：以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到

樣品振動
X方向	<5μm
Y方向	<5μm
Z方向	<1μm
注：可選低振動配置，各方向振動<1μm

時間參數(shù)：

◆抽空時間：0.5h(與泵組相關(guān))

◆降溫時間：從室溫到蕞低溫2.5h

◆升溫時間：從蕞低溫到室溫2h

樣品臺：

◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：51mm(2in)

◆樣品臺背光：無

◆樣品臺類型：三同軸樣品臺(標(biāo)配)、接地樣品臺(選配)、0.15T垂直磁場樣品臺(選配)

◆樣品臺旋轉(zhuǎn)：無

探針：

◆探針數(shù)量：最多6個

◆探針傳感器：硅二極管，監(jiān)視探針溫度

◆探針托溫度：<20K樣品臺處于蕞低溫度

◆探針熱沉：熱沉到樣品臺或者相同溫度的防輻射屏

◆探針臂：熱沉到防輻射屏

◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA

◆微波探針：DC到67GHz,用于微波測量

◆光纖探針：用于光電測量，可選FC/APC或者SMA905接口，波長可選

探針位移：

◆X方向行程：75mm,移動分辨率3μm

◆Y方向行程：25mm,移動分辨率5μm

◆Z方向行程：25mm,移動分辨率5μm

顯微鏡配置

3400萬像素CCD相機

支持4K視頻錄制

4條水平線4條垂直線，帶測量軟件

標(biāo)準(zhǔn)HDMI接口

電子縮放1x-10x

景深同軸光鏡頭，帶LED同軸光源

光學(xué)倍數(shù)0.7-5X，連續(xù)變倍比7.1:1

電子倍數(shù)20-200x

成像距離140-180mm

景深高度：10mm

觀看面積1mm-18mm

制冷劑消耗：

◆室溫到低溫度：不需要

◆液氦消耗(5K):不需要

探針臺配置

溫度配置
樣品臺傳感器加熱器	硅二極管傳感器、100W加熱器
防輻射屏傳感器加熱器	硅二極管傳感器、100W加熱器
二級制冷平臺傳感器加熱器	硅二極管傳感器、100W加熱器
探針臂傳感器	硅二極管傳感器(安裝在其中一個針臂)
溫度控制
控溫儀型號	斯坦福CTC100四通道溫度控制器
低溫輸液管	不需要
低溫液體儲存罐	不需要
支架
支架尺寸	長寬高660X660X640mm(不含地腳)
地腳	4個橡膠減振地腳，承重500公斤
桌面	長寬厚710X710X20mm
真空腔體
材料	鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻)
外部直徑高度	245X170mm
內(nèi)部直徑高度	215X165mm
可視窗凈尺寸	φ65毫米，紅外吸收石英窗口
真空抽口	KF16
真空閥門	KF16手動擋板閥
放氣閥	手動放氣閥
預(yù)留接口	預(yù)留通用安裝接口
探針引出口	六個真空三同軸接口(DC探針，選擇其它探針，接口不同)
防輻射屏
材料	銅鍍金
外徑	182mm
可視窗凈尺寸	45mm,配紅外吸收窗口
抽空泵組
分子泵組	可選(客戶可自備)
機械泵組	可選(客戶可自備)
抽空減振塊
抽空減振塊	KF25進(jìn)出氣口，重量20公斤
配電要求
單相電壓	220V/50Hz
單相功率	1KW
三相電壓	三相五線制，380V/50Hz
三相功率	6KW
水冷要求
制冷功率	5KW@25℃
水流量	7L-10L/min(28℃)
三相電壓	三相五線制，380V/50Hz
三相功率	3KW

樣品托

接地樣品托

直接安裝在樣品臺，盡量減小對樣品的溫度梯度，與整個探針臺電器接通

注：可選圓形和方形，性能無差異

同軸樣品托

樣品托表面與探針臺整體電器絕緣，通過BNC接口穿過真空室

注：可選圓形和方形，性能無差異

三同軸樣品托

在同軸樣品托的基礎(chǔ)上增加GUARD層，層與層之間電器絕緣，提供保護(hù)電壓層，減小漏電流

注：可選圓形和方形，性能無差異

閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制

磁場樣品托

磁場樣品托提供了一種低成本便捷的磁場測試環(huán)境，樣品托安裝在樣品臺上，和探針臺整體供地。磁場樣品托一套包括四種磁場產(chǎn)生環(huán)和一個安裝托。

根據(jù)不同的磁場需求，選擇使用不同的磁場產(chǎn)生環(huán)。四個磁場產(chǎn)生環(huán)分別能產(chǎn)生0.2T、0.18T、0.15T、0.1T磁場。

閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制

樣品托配置

	類型	接口	尺寸
設(shè)備包括	接地樣品托	無	φ51mm(2in)
選件	接地樣品托	無	φ51mm(2in)
	同軸樣品托	BNC	φ51mm(2in)
	三同軸樣品托	TRIAX	φ51mm(2in)
注：其它尺寸樣品托接受定制

閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制

樣品托性能

	電絕緣	溫差	溫度
接地樣品托	導(dǎo)通	0.1K-0.2K	400K
同軸樣品托	>100MΩ	≈1K	400K
三同軸樣品托	>100GΩ	≈1K-2K	400K
1.電絕緣測試是在10V電壓情況下，測量導(dǎo)電面之間的電阻 2.溫差是樣品托表面和樣品臺之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小，都會對溫差產(chǎn)生影響，熱接觸不充分樣品負(fù)載大，會增加溫差。

接口

BNC	同軸樣品托-配2耳BNC真空接口以極低溫同軸線纜
TRIAX	三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線

探針臂配置

德世標(biāo)準(zhǔn)的微操作針臂，能安裝各種類型的探針，滿足絕大部分科研需求，實現(xiàn)直流、射頻、微波以及光學(xué)測量。

u靈活容易擴展的探針集合

u微操作針臂可以在全溫區(qū)、真空環(huán)境、磁場環(huán)境下使用

u可以配置在德世任意款探針臺上

u磁場探針臺中更換成無磁材料針臂

u針臂上安裝一個標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器，可以接受定制傳感器類型

閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制

探針配置及用途

通用DC	小信號低噪聲DC測量
高阻DC	高阻抗低漏電流測量
RF-1GHz	KHz和MHz級別的測量，測量帶寬高達(dá)1GHz。可以升級到RF/微波-40GHz測量，需要購買一個GSG探針
RF/微波-40GHz	可實現(xiàn)高達(dá)40GHz的測量，同時也能實現(xiàn)兼容DC測量
RF/微波-67GHz	可實現(xiàn)高達(dá)67GHz的測量，同時也能實現(xiàn)兼容DC測量
光纖探針	給樣品通光或者從樣品采集光，可選波長，可選FC/APC或者SMA905接口

探針硬件配置

	接口	探針	內(nèi)部線	水平角度	定制
通用DC	3耳BNC	SMA低溫探針	微型低溫同軸線，屏蔽層接地	±5°	探針針尖和直徑
高阻DC	3耳triaxial	SMA低溫探針	微型低溫同軸線，屏蔽層接三同軸GUARD	±5°	探針針尖和直徑
RF-1GHz	2.92mm(K型連接器)	SMA低溫探針	2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地	±5°	探針針尖和直徑
RF/微波-40GHz	2.92mm(K型連接器)	40G-GSG探針	2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地	±5°	GSG針尖距離
RF/微波-67GHz	1.85mm(Z型連接器)	67G-GSG探針	1.85mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地	±5°	GSG針尖距離
光纖探針	FC/APC或SMA905	無	光纖	±5°	類型、波長、入射角

探針性能

	使用頻率	絕緣電阻	電容	阻抗	反射	傳輸
通用DC	DC-50Hz	>100MΩ	<100pF	50Ω	無	無
高阻DC	DC-50Hz	>100GΩ	<100pF	無	無	無
RF-1GHz	DC-1GHz	>10MΩ	未測量	50Ω	<-20dB	<±1dB
RF/微波-40GHz	DC-40GHz	>1MΩ	未測量	50Ω	<-20dB	<±1dB
RF/微波-67GHz	DC-67GHz	>1MΩ	未測量	50Ω	<-20dB	<±1dB
光纖探針		無	無	無	無	無
注：絕緣電阻在100V電壓下測量得到

探針定位

	X軸	Y周	Z軸
行程	75mm(2in)	25mm(1in)	25mm(1in)
精度	3μm	5μm	5μm

SMA低溫專用探針

德世為低溫探針臺設(shè)計專用探針，探針具有強大的通用性，能實現(xiàn)直流偏置、低/高頻測量、低噪聲屏蔽和低漏電流測量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作，低溫焊料焊接SMA接口，50歐姆阻抗傳輸線，可配置鎢、P7或者鈹銅探針，無氧銅熱沉帶，熱沉到樣品臺

閉循環(huán)低溫探針臺芯片測試支持定制

型號	材料	針尖直徑（µm）
SMA-05D-01-W	鎢	1
SMA-05D-05-W		5
SMA-05D-10-W		10
SMA-05D-20-W		20
SMA-05D-100-W		100
SMA-05D-01-BC	鈹銅	1
SMA-05D-05-BC		5
SMA-05D-10-BC		10
SMA-05D-20-BC		20
SMA-05D-100-BC		100
SMA-05D-01-P7	Paliney7合金	1
SMA-05D-05-P7		5
SMA-05D-10-P7		10
SMA-05D-20-P7		20
SMA-05D-100-P7		100

針尖材料	描述	應(yīng)用	導(dǎo)電性	接觸電阻	壽命
鎢(W)	常用，耐用	適用各種樣品表面，能穿透氧化層	好	小	長
鈹銅(BC)	常用，接觸電阻小	沉金焊盤pad	優(yōu)	最小	長
paliney7合金(P7)	專用，接觸電阻小	精密的焊盤pad	好	小	長